He aha koe te whakawhirinaki ai ki o pakihi?
Ka tangohia e tatou te koretake o te hokonga. Ka tiakina e matou nga miriona waahanga uaua ki te kitea mai i o maatau puna korero. Ka whakahou ano i a maatau nga raarangi hua ma te meneti, a, kua oti nga hoko tuihono i roto i nga wa-tūturu a ka tukuna katoa i ia ra.
I kitea i te 2002, ko MFGChips he kaiarahi o te takiwa ki nga tohatoha waahanga hiko, e mohiotia ana hoki ko tetahi o nga kamupene whakarangatira rongonui me te tino auaha i roto i nga maakete a rohe i tenei ra. Kei te taatai mai i Hong Kong, kua tino rongonui te MFGChips mo te whakarato ratonga whakahirahira me te whakawhanake i nga otinga mekameka tuku pai o te ao.
Ako atu >
Halogen Free Atomic Etching
Ko te tikanga ka karo i te tikanga o te riipene paitini mai i nga hau halogen tikanga, te tapahi i te paanga o te taiao i te wa e haere ana te miihini semiconductor.
Ko nga Kairangahau mai i Japan me Taiwan i whakaatu he kiriata Plasma-kore Halogen (HFO2) me te mahi a te Ope Taumata-a-Rohe, e tohu ana i te waahanga nui mo te whakatipuranga o muri.I korerohia i roto i te pūtaiao iti, ka tutuki te tukanga maeneene, te rite ki te pāmahana rūma kaore i te whakawhirinaki ki nga hau-halogs-hau
Ko te HFO2 he rauemi matua i roto i te hikohiko matatau, i whakanuia mo tona nui o te rahinga o te tipu, te waiariki, me te rahi o te roopu roopu.Ko enei taonga ka waiho hei kaitono nui mo nga Kaihauturu o Ultratinin Catelators i roto i nga Kaituku 2D me nga taputapu mahara a muri-Gen.Heoi ko te kaha o te hafnium-hāora-hāora hoki e uaua ana ki te tarai i te tika me te maeneene o te mata.
Ko nga tikanga a te aporo-a-papa tuku iho (ale) te korero i tenei ma te whakamahi i te hau-a halogen-te nuinga o te huka, te chlorine-whakakotahi ranei me te paoa.I te mea e whai hua ana, he huringa te huarahi.He paitini te hau e te halogen, i te wa he iti te ngoikore o a raatau hua, ka piri ki te whakatika i nga pakitara, i nga mahi anga anga ranei.
Ko te roopu, i arahina e te Hsiao University a Nagoya me Masaru Hori i te mahi tahi me te mahi huringa e rua-taahiraa hei whakakapi i nga hagose me te hauota.I te wahanga tuatahi, ka pania e ia nga ngota i te mata HFO2, te hauota o te hau ki te kiriata.I te tuarua, ko te plasma o2 ka wehe i te paparanga hauota-hauota ma te tauhohenga whaiaro.Ko ia huringa ka tango noa i te 0.023 noa ki te 0.107 nanomters o te rauemi, whakahoutia te tika subiomic.
Ko te tātaritanga mata ma te whakamahi i te spectroscopy whakamarumaru me te x-ray photoelectrosscopy e whakarite ana i nga ngota hauota i te wa o te huringa hāora i raro i te pepeke o te hau.I tua atu i te Etch, ko te tikanga ka pai ake ano te tikanga morphology: i muri i te 20 huringa, ka whakaitihia e te 60%.
Ano, ka whakahaeretia e te mahinga i te pāmahana rūma, te penapena i te kaha me te ngawari ki te whakauru ki nga papa semiconductor.Kei te karo hoki i nga toenga-a Haloges, te tautoko tautoko, te kaha ake o te mahi.
I te mea ko te rahi o te semimonductor e whakaiti ana i etahi nanometer noa, he mea nui tenei ki te pupuri i nga mahi a te taputapu i te whakaiti i te paanga taiao.Ko te rangahau e whakapumau ana i te huarahi ki te Halogen-kore-taumata o te Atomic Free mo te HFO2, te whakarite tauira mo te tukatuka i etahi atu rauemi uaua-ki te whakamahi i nga microelectronics matatau.